在全球产业链持续优化的背景下，半导体设备国产化已成为推动中国科技进步的重要方向。作为核心制造装备提供者，北方华创与中微公司在不同细分领域不断推进技术研发与产业落地，正为国产设备向更高端领域拓展提供动力。本文将梳理国产半导体设备的最新进展，并分析这两家龙头企业的现状、优势与未来规划。

一、国产半导体设备的重要性

半导体制造对设备精度、材料控制和工艺稳定性要求极高。整个流程分为前道晶圆制造与后道封装测试，其中前道设备技术门槛较高，长期以国际领先厂商的产品为主（如ASML的光刻机、Applied Materials的薄膜沉积、Lam的刻蚀设备）。

在先进制程时代，设备的技术水平直接影响芯片性能。近年来，国产设备在多个环节加快了技术进步：

光刻机仍主要依赖ASML；

刻蚀、薄膜、清洗等环节逐步提升本土化水平；

整体设备国产化率约25%，中高端领域仍有拓展空间。

北方华创与中微公司分别代表了“全流程设备平台”和“刻蚀设备深耕”两种发展模式，是目前市场关注度较高的两家企业。

二、北方华创：平台化布局的综合型企业

1. 公司概况

北方华创（Beijing NAURA）前身为“七星电子”，通过并购整合，构建了涵盖刻蚀、PVD、CVD、清洗、氧化炉管、涂胶显影等多类工艺设备的完整平台。

其设备应用于晶圆制造（12英寸、8英寸）、先进封装、功率器件、LED等领域，是国内设备产品覆盖面较广的企业之一。

2. 技术与市场优势

刻蚀机：可支持28nm及以下逻辑制程，部分产品已进入中芯国际、华虹等生产线；

PVD/CVD设备：在存储芯片客户（如长江存储）中实现批量应用；

清洗设备：本土化率高，市场份额持续提升；

炉管设备：国内出货量领先。

优势包括：

产品线齐全，便于客户集中采购

与科研机构合作紧密，工艺研发能力强

国内客户基础稳固

3. 财务表现

2024年营收超120亿元，同比增长约20%

毛利率保持在40%左右

正在布局14nm及以下先进制程设备，预计2025年可进入验证阶段

三、中微公司：刻蚀领域的深度玩家

1. 核心聚焦

中微公司（AMEC）成立于2004年，由尹志尧博士创办，是国内进入全球刻蚀设备供应链的企业之一。核心产品包括：

等离子刻蚀设备（Etch）：用于逻辑芯片、存储芯片制造

MOCVD设备：用于Mini/Micro LED外延片生产

刻蚀设备是其主要营收来源，占比超过70%，客户涵盖中芯国际、长江存储、合肥长鑫等。

2. 技术亮点

已支持5nm以下制程验证

在低损伤刻蚀、复杂图形控制方面不断提升

在3D NAND与DRAM应用中出货增长明显

优势包括：

技术团队国际化，研发经验丰富

产品已出口韩国、台湾等市场

自主IP体系完善，产品迭代速度快

3. 财务表现

2024年营收约60亿元，同比增长约30%

海外营收占比提升，毛利率保持在45%以上

在研产品包括原子层刻蚀（ALE）、先进逻辑用ALD设备等

四、对比分析

项目

北方华创

中微公司

设备类型

全流程覆盖（刻蚀+PVD+CVD等）

聚焦刻蚀与MOCVD

客户结构

国内客户为主，正拓展海外

国内外客户均有，国际化程度高

技术路线

平台化、多设备协同

高端刻蚀突破

成长性

受益于市场扩产与政策扶持

受益于高端芯片验证加快

五、挑战与展望

挑战

高端光刻机尚有技术差距

核心零部件部分依赖海外供应

客户验证周期较长

展望

2025年12英寸设备国产化率有望提升至35%左右

国内晶圆厂采购比例有望继续上升

政策与产业协同有助于零部件配套完善

结语

北方华创与中微公司在不同细分领域的持续深耕，体现了国产半导体设备从“补缺”到“自主创新”的进展。随着技术迭代和市场需求增长，国产设备行业正迎来重要的发展阶段。